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SEM观察

一

简介

SEM(扫描电子显微镜)是电子显微镜的种类之一，用电子线照射试料，通过检出从试料产生的二次电子和反射电子来进行试料表面观察。

二

特长

扫描电子显微镜（SEM）安装有能量分散型X线分析装置（EDS）。因此，不仅可以对表面凹凸情况进行分析，还可以对化学组成进行分析。

1.从低倍率到高倍率的观察

与光学显微镜相比较，分解能高，焦点深度深，对比明显，可以观察凹凸大的试料表面形状。

2.元素分析

因为附带EDS，所以在观察的同时可以获取元素信息。

3. 非导电性试料观察

因为可以在真空下进行观察，所以可以直接观察分析非导电性试料。

三

分析原理

・SEM由镜体、资料室、真空泵、显示器和操作部构成。利用真空中细小的电子束扫描试料表面，检出从试料发出的二次电子和反射电子，通过变换成电气信号，在监测器上显示出试料表面的扩大图像。

・二次电子是在观察试料表面形状时使用，指的是SEM像。

　反射电子是在观察试料组成分布时使用，可以得到反映试料组成的对比图像。　

・使用释放热电子的热电子枪，在探针的电流量、电流安定度等方面功能突出。

五

分析用途

1. 试料表面观察

・附着异物的表面状态

・剥离面的凹凸状态

・附着异物观察

2. 断面观察

・电镀层厚的凹凸观察

・通过组成成分对比观察断面构成

・接合部位裂缝观察

3. 膜厚测定

・合金层的膜厚和分布

・通过垂直断面观察测定长度

形貌观察与测量

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