电场放射型扫描显微镜（FE-SEM）_阔智科技(广州)有限公司

电场放射型扫描显微镜（FE-SEM）

一

简介

FE-SEM(Field Emission SEM)是用束成电子束的电子线照射试料，观察表面的装置。可以进行超高分解能观察。和通用SEM同样，把电子线束起来当作是电子束来照射对象物体，通过检出对象物体表面放出的二次电子和反射电子，进行对象的表面观察。另外，因为JSM-7100F配备EDS和EBSD解析装置，所以不仅可以进行高分解能观察，还可以进行元素分析和结晶试料的方位解析（EBSD解析）。

二

特长

1.可进行亚微米级观察

通过通用SEM可在高倍率下进行形态观察，可以取得更加鲜明的画像。

2.EDX（能量分散型分析装置）定性分析

FE-SEM安装有EDX，在试料观察的同时可以调查元素的种类、量、分布状态。

3.EBSD结晶方位解析

可以进行焊锡和铝等金属结晶的微小方位差测定。

三

分析原理

FE-SEM利用真空中束起的电子线扫描试料表面，检出从试料产生的二次电子和反射电子，通过变换成电气信号，在监测器上显示出试料表面的扩大画像。与热电子放出型SEM不同，因为使用电场放出型电子枪，可以得到长时间安定的电子探针。因此，不必等待电流安定就可以马上观察高倍率画像。

四

设备介绍

・型号：JSM-7100F

・制造商：装置：日本电子（株）

・分解能：1.2nm(30kV),3.0nm(1kV)

・倍率：×10～500,000

・观察倍率：～約10万倍　

・试料室尺寸：86㎜φ×40mmH

・最大试料尺寸：32 mmφ 高度 30 mm

・EDS：EDAX社制　Pegasus

・EBSD：TSL社制

五

分析用途

・表面凹凸状态和组成像观察

・电镀等的膜厚测定

・焊锡等金属观察

・合金层观察

形貌观察与测量

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