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EBSD

一

简介

背散射电子衍射分析法（Electron Back Scattering Diffraction Pattern）是可以测定结晶性材料（金属和陶瓷等）的结晶方位（结晶的方向）的装置。

二

特长

木材的纤维方向（木纹）不同则强度不同，结晶材料与此类似，结晶材料的组织构造具有方向，根据方向不同性质也不同。

背散射电子衍射法是（以下称EBSD）为了获取结晶性材料的结晶方位信息（针对结晶的信息）的便利的手法。

如果使用EBSD的话，可以知道仅靠光学显微镜和SEM观察无法得到材料的结晶方位信息。　

虽然组织解析的装置有好几种，但是EBSD与其他装置相比，可以在短时间内进行广范围的高解像度测定。

三

分析原理

在SEM中，用电子线照射70°倾斜的样品，通过电子的背散射（反射电子），可以得到衍射线路。

此线路是电子线照射点，即结晶实格子直接投影得到的物体，将线路筛选并通过放映软件进行分析，可以得到那个地方的结晶方位信息。

接下来通过扫描测定点评价全测定范围线路，由此得来的方位信息用图像显示，可以视觉确认结晶方位信息。

四

设备介绍

・使用软件：TSL OIM Data Collection6 / TSL OIM Analysis 6

・制造商：株式会社TSL solutions

・可测定样品尺寸：最大32ｍｍΦ

・样品表面状态：除去表面异质层，如果表面不平滑无法进行测定。

・可测定结晶尺寸：50nm以上

・方位差精度：0.5°

五

分析用途

EBSD可以测定带有结晶构造的材料。但是，因为向SEM装置的真空槽导入和电子束照射有影响，也存在测定困难的情况。

异物成份分析

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